上海昊量光电设备有限公司
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微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP

微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP


MProbe 40 测量薄膜厚度和折射率单击鼠标在小地方。显微分光光度计 (MSP) 集成在系统中同时结合显微镜,用于小点薄膜厚度测量。微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP用于数千种应用程序,并提供完整的标准模型系列来支持它们。微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP可以快速可靠地测量 1 纳米到 2 毫米的厚度,包括多层薄膜堆叠。不同的模型主要由光谱仪的波长范围和分辨率来区分,这反过来又决定了可以测量的厚度范围。


 


 

微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP的应用:

1. 测量圆柱或曲面上薄膜厚度:注射器、支架、销钉、电线等。即使在高度弯曲的表面上,小点也会产生平坦的场以实现精确测量。

2. 不均匀、粗糙的涂层或光散射材料,如高雾度或纳米粒子注入薄膜。小光斑定位测量有效地减少光散射和不均匀性的影响

3.图案晶圆、MEMS 和其他需要高灵敏度领域的小区域测量的应用。

 

微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP基本规格:

精度

0.01nm或0.01%

准确度

0.2%或1nm

稳定性

0.02nm或0.03%

聚焦点尺寸

0.2mm或0.4mm

样品尺寸

>20mm

厚度范围

0.05-70um

波长范围

400-1000nm

 

微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP选型列表:

MProbe 40 

波长范围

厚度范围

VIS

400nm -1100nm

10nm – 75 μm

UVVISSR

200nm -1100nm

1nm -75μm

VISHR

700nm-1100nm

1μm-400μm

NIR

900nm-1700nm

50nm – 85μm

UVVisF

200nm -1700nm

1nm – 85μm

UVVISNIR

200nm-800nm

1nm -5μm

NIRHR

1500nm -1550nm

10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)

*可根据要求设计定制探头


晶圆、各类曲面无接触光学小点薄膜厚度测量
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