· 分析元素：4Be~92U
· 发射源；W灯丝，CeBe灯丝
· 二次电子图像分辨率：6nm(W灯丝），5nm(CeBe灯丝）
· X射线取出角角度：52.5°，ZD限度减少X射线被吸收
· 分光晶体：全聚焦型
· X射线谱仪：高灵敏度、高分辨率型
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