详细信息
产品信息
主要特点
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检出灵敏度：10-13-100Pa m3/s (He)
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ZY的BG恢复性能和操作性
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大屏幕液晶显示面板，操作简单
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分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝（内置两根）
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搭载大排量的粗抽真空泵，提高了作为通用机应具备的稳定性和可靠性
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对大泄漏工件也可以进行检漏测试
应用领域
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半导体和平板显示器制造
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LED制造
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镀膜设备
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制冷设备和空调的元件及部件
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低温压力容器
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阀门气密性
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捡漏航空部件，配件及系统
产品优势
岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU，采用专用的分流泵及中间排气系统，实现了卓越的低BG恢复性能和操作性。
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