NanoMap-PS 全新的纳米台阶仪发布

台阶仪从上世纪70年代发明以来，在半导体制造，平板显示，太阳能电池，MEMS等诸多领域成为象游标卡尺，显微镜或者万用表一样的必备检测设备。

随着各领域的技术不断进步，镀膜厚度不断的降低，不断出现的几十纳米测量需求。

美国AEP公司，推出了全新的NanoMap-PS型纳米台阶仪。

此款台阶仪，颠覆了行业内普遍对台阶仪的认知“百纳米下薄膜厚度测不准，需要隔振平台辅助”的概念。

NanoMap-PS纳米台阶仪自集成主动式隔振模块，使台阶仪即使放在六楼百纳米下也能有极高的重复性，稳定性。

并且，NanoMap-PS的小体积，桌面型设计，提升了超净间的使用率，让拥挤不堪的超净间拥有更多设备的空间。

47nm膜厚标样重复性测量