高纯气体的气相色谱分析

引言随着工业的不断发展，各个领域对高纯气体的品种和质量要求越来越高，如半导体微电子器件，电真空材料加工，各种金属冶炼和处理，大规模集成电路生产，色谱等精密仪器仪表用载气零点气标准气的制备，石油化工，环保，生化，激光，宇航等都直接或间接用到各种高纯..... 氦离子化气相色谱仪