高纯CF4专用气相色谱仪

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GC-126PDD/CF4分析专用氦离子化气相色谱仪


1 统依据的标准:

电子工业用气体 四氟化碳Gases for electronic industryTetrafluoromethane

GC-126PDD氦离子化气相色谱仪

GC-126PDD氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品以GC-126气相色谱仪为载体，配备VALCO公司生产的氦离子化（PDHID）检测器；采用克柔姆公司拥有专业技术的四阀五柱的中心切割与反吹技术，其中的所有进样和切换阀均为VALCO公司生产的带吹扫保护气路的六通或十通阀；上述部分与VALCO公司原装的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析整体及解决方案。
高纯气体的分析是一个复杂的过程，不仅需要高灵敏的检测器，还要考虑样品本身的特性及其背景，如吸附、取样及分析过程中是否有空气混入、系统的密闭性、系统的死体积等环节，克柔姆色谱公司总结了高纯气体分析过程中的技术难点，并给出了所有难点的解决措施，使GC-126PDD氦离子化气相色谱仪成为国内最专业的高纯气体分析系统，很好的完成了气体中微量杂质，特别是ppb级的杂质的分析。

产品的特点:

◆ 气体行业专业色谱技术成套解决方案
◆ 采用VICI公司Valco带吹扫型十通与六通切换阀控制气路
◆ 应用气体分离专用色谱柱分离预切再分离技术
◆ 采用本公司ZL技术的可分离与嵌入式单体控温柱炉
◆ 工艺流程采用多路精密零死体专用阀控制多维色谱分离柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不锈钢管路与专用镀金接头
◆ 核心灵敏部件采用Valco公司PDHID脉冲氦离子检测器
◆ 成套专业化的数字与全中文反控气相色谱仪

技术特点：氦离子化气相色谱仪

嵌入式32位处理器及多CPU系统开发，IT接口相关技术，实现温度参数自动设置、检测器选择、检测器操作参数和数据化自动调零功能、灵敏度和极性数字化设置。
全中文菜单操作界面，同时可显示多组参数，操作非常简单方便。
计算机反控功能，可以通过计算机操作仪器内部所有功能（通过USB接口实现）。
高精度计时器集8路外部事件控制, 可集成多个文件对应存储。
无需外接工作站并提供模拟输出接口。
氦离子化气相色谱仪

柱温箱：

◆温度范围：室温加5℃- 400℃
◆控制精度：±0.1℃
◆程序升温：9阶
◆最大升温速率：60℃/min
◆双通道色谱柱流失补偿

进样器：氦离子化气相色谱仪

◆最多可装载三个进样器（2个填充柱进样，1个毛细管柱进样）或2个毛细管柱进样器。
◆进样器单元：有独立的分流/不分流进样器系统和填充柱进样器系统

检测器:

◆最多可装载三个检测器
◆氢火焰离子检测器（FID）：
温度范围为室温加7℃~ 400℃；检测限 ≤4×10-12g/s，样品：C16
◆高灵敏度热导检测器(高TCD）：
温度范围为室温加7℃~ 400℃；灵敏度≥5000mvml/mg

产品的成套配置:氦离子化气相色谱仪

仪器名称

型号规格 厂家 数量 报单价 合计价 备注

氦离子化气相色谱仪

GC-126PDD 上分厂/ 克柔姆 1台

配备PDHID氦离子化检测器

多柱箱系统 上分厂/ 克柔姆 1套 可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度，以满足样品分离的需要

中心切割与 反吹系统:

吹扫十通阀1只;吹扫六通阀2只. VALCO /克柔姆 1套

配备3个带吹扫保护气路的原装进口阀：二次进样，

无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、

二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。

色谱柱: Hayesep Q ; Hayesep R ; MS 5A * 3 支 克柔姆 3根 可分离样品中的H2、O2
N2、CO、CO2、CH4等杂质
CO防拖尾处理技术

载气纯化器:
HP-2 VALCO 1台 杂质含量≤10ppb
载气过滤器 VALCO 1个 2μm孔径
样品过滤器 VALCO 1个 20μm孔径
标准气体 1套 含:
一、分析5N纯度的CF4配标气
1．氢气 5 PPM
2、氧气 5 PPM
3．氩气 5 PPM
4、氮气 10 PPM
5、二氧化碳 5 PPM
6、一氧化碳 5 PPM
7、六氟化硫 10 PPM
8、四氟化碳 50PPM 定性
9、二氟甲烷 CH2F2 10 PPM
10、三氟甲烷 CHF3 10 PPM
11、六氟乙烷 C2F6 10 PPM

余气：He（共1瓶） 8 L

高纯氦气:40L 1瓶 自备 / 纯度不低于99.999%
高纯氮气:40L 1瓶 自备 / 作为自动阀的驱动气使用
无死体积专用
取样阀带吹扫 克柔姆 4个取样时防止空气渗入，带放空结构设计
载气专用两级
不锈钢减压阀 HORO 1个 HORO两级减压稳流

高纯气专用色谱工作站 克柔姆 1套 自动控制切割、反吹、进样等过程；并实现对色谱主机的操作控制

技术参数：
仪器的应用范围：
1.本仪器主要应用于高纯CF4气体中微量杂质的分析，具体内容详见下表：

气体种类	需分析的杂质种类
He载气	H2	O2 / Ar	N2	CO	SF6	CO2	CH2F2	CHF3	C2F6
仪器的最小 检测限（PPb）	30	30	30	50	50	30	50	50	50

氦离子气相色谱仪

主要特点：
流程特点:
1. 采用中心切割系统; 完成对CF4的有效切除; 确保H/Q柱子是干净的.
2. 采用中心切割系统;可有效放空预切柱子H/DB的重组份杂质;若有水份峰
可采用中心任意切除.
3. 柱子H/Q与预切柱子H/DB同时安装在色谱柱箱内, 升温后可同时赶走二支柱
内的吸附性组份.
4.采用中心切割系统后; 分离柱子H/Q的载气是独立的而且是增加柱子流速的,
以提高二氟甲烷(CH2F2)、三氟甲烷(CHF3)、六氟化硫(SF6)、六氟乙烷 (C2F6)
各组份峰的峰高增加检测的灵敏度.

分析过程

1.四氟化碳分析通过程序设定，样品通过定量管定量进入预柱1/8”*3m Hayesep DB，预柱很好的把CF4中CO2和H2、O2、N2、CO组分分离，待H2、O2(Ar)、N2、CO 流出预柱，自动切换十通阀。然后CF4主峰由V2阀切割中心切割排空,这时可能有的CH4同时会被放空,余组份放入Hayesep/Q中,而H2、O2(Ar)、N2、CO经5A柱分离进入检测器；CO2及以后的二氟甲烷(CH2F2)、三氟甲烷(CHF3)、六氟化硫(SF6)、六氟乙烷 (C2F6)等经1/8”*6m Hayesep/Q柱再由V3阀切换进入检测器，完成整个分析。
2.分析采用二次进样方式.标气定性外标法定量分析;

一、 中心切割与反吹系统：

GC-126PDD氦离子化气相色谱仪采用多阀多柱的中心切割与反吹系统，该系统由多个吹扫型十通阀及多根色谱联合组成，通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程，完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯氦、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测：
VALCO吹扫型十通阀：
GC-126PDD氦离子化气相色谱仪所配备的均为原装进口VALCO生产的
经特殊加工的色谱柱技术
气体全分析流程：

二、 HP-2氦气纯化器：
可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
最大操作压力：1000Psi
去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
残留浓度：≤10ppb

三、 无死体积取样阀
四、 载气专用减压阀
五、 背压阀控制的进样技术
六、 具备反控功能的GC-126气相色谱仪

Chrom-2010PDD专用色谱工作站

其主要 性能参数及功能如下.

硬件性能:氦离子化气相色谱仪
通讯接口：USB接口
高精度：24位的高精度A/D，分辨率±1uv。
输入通道：外置数据采集盒，输入通道2个。
输入电平范围：-2v至+2v
采样频率：最多50次/秒.
动态范围：106（1μv为最小单位）。
积分灵敏度：1μvsec（即面积的个位数）。
线性度：<±0.1%。
重现性：0.06％。
软件功能:

实时性：真正WINDOWS 环境下的实时数据采集，RS232接口双通道数据采集，采样同时可对采样数据实时进行分析、存储，实时显示色谱峰保留时间。可随时设定采样频率，改变峰宽，斜率，停止时间等参数。
灵活的峰识别和处理能力：自动识别拖尾峰，重叠峰，锯齿峰和前后肩峰等，自动基线切割。可通过调整参数和时间程序自动重分析，可通过手动修正方式进行色谱峰的识别、删除及调整基线切割。另外可以对谱图任意重分析，放大，移动，逐点跟踪，添加组份名，谱图复制，多谱图比较，基线扣除等。
轻松定性（任意多点校准）：可自动或手动编辑峰鉴定表。自动计算校正因子，提供单点，任意多点平均，任意多点校正，并直观地显示校正曲线。
定量方法：提供归一法，内标，外标，修正归一法，带比例的修正归一法，指数法六种常用的定量计算方法。
自定义分析方法：用户针对某种样品分析而设定的方法及参数、时间程序、峰鉴定表等可以方便的保存到用户自命名的方法文件中。因此针对不同的样品可以调用不同的方法文件。
多种格式数据存储：用户可以自命名保存历次分析的谱图、结果等，并且可将谱图文件，结果文件保存为文本格式或导出到EXCEL中，利用别的作图工具重新作图或重新计算。也可直接复制谱图到剪贴板然后粘贴到用户需要的文档中。
多种自动计算主式：自动计算质量比与响应值； 自动套算汽油中醇、醚类化合物及苯和甲苯含量；自动计算汽油中醇、醚类化合物的含氧量；并能同时分别计算出组份质量浓度与体积浓度。
灵活的打印功能：可预览及打印谱图、结果报告、分析参数（包括峰鉴定表）等，用户可自动设置打印报告头，调整打印方式，满足您各种打印要求。
操作直观便捷：简洁清晰的全中文图形界面，方便用户顺利完成操作。