Thermo Scientific APIX 系列超高纯电子气质谱分析仪

结合了工艺先进的电子电路和功能强大的过程分析软件、性能zhuo越的大气压离子化质谱仪（API-MS）使得 Thermo Scientific APIX 生产线提供的分析仪系统成为半导体和电子工业大宗气体连续质量控制的shou选。

API-MS 为传统质量控制技术提供了一个物有所值的替代方案，可以监测各种大宗气体中一系列潜在杂质浓度，同时实现比气体任何技术更低的检测限（高达 100 倍）。

APIX 产品线提供了更多完整的杂质分析，包括：H₂、CO、CO₂、H₂O、O₂、CH₄、Kr 和 Xe，以及其他需要测量的杂质。随着 300mm 晶元制造的出现，需对气体质量标准进行更严格的杂质控制，该技术将继续成为 ppt 水平检测的shou选方法。