FSM128非接触薄膜应力测试

美国FSM应力仪

-----应力测试专家，为行业应力仪！

Semi-Auto（半自动） Fully-Auto（全自动）
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* 自动切换的双光路波长：650纳米和780纳米

* 测量方式：直径方向的扫描，可提供形貌图

* 扫描范围：对于200mm的硅晶圆为194mm

* 3-D形貌图：测量台有旋转功能，可通过控制软件中的参数输入来旋转测量台，以完成形貌图的测量（至少需要测量6个方向的扫描）

* 测量的硅晶圆尺寸： 200mm

* 应力测量的范围：1X10⁷ dynes/cm² 至 4X10¹⁰ dynes/cm²（对于典型的硅晶圆）

* 测量数据输出：测量数据表格为客户提供的参数包括，料盒的编号、晶圆的编号、测量次数的编号、应力数值、晶圆曲率半径的数值、晶圆基片的厚度和镀膜的厚度，以及测量时间。测量数据可选择输出为Excel格式，文本文档格式，同时可以输出样品形貌图

* 客户包括Intel,Samsung,LG IBM等等。

有任何需要请联系赛伦科技（上海，北京都有办事处）