HORIBA 科学仪器事业部
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HORIBA 研究级全自动椭偏仪 UVISEL 2


仪器介绍:
      UVISEL2是一款完全革新的全自动光谱型椭偏仪。继承并发展了经典机型UVISEL的高准确性、高灵敏度和高稳定性等技术特点的同时,配备革新的可视系统,多达8个尺寸微光斑选项,小达35×85μm2,适用于所有薄膜材料研究领域。是目前市场上的机型。

技术参数:

·光谱范围:190-2100 nm

·8种光斑尺寸: 小35 X 85 um

·探测器:3个独立探测器,分别优化紫外,可见和近红外

·自动样品台尺寸:200mm X 200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

·样品水平度自动调整

·自动量角器:变角范围35°- 90°,全自动调整,小步长0.01°


主要特点:

·完全自动化设计,自动对焦、校正

·全新光路、电路设计,测量精度更高,速度更快

·50KHz高频PEM相调制技术,测量光路中无运动部件

·双光栅光谱仪系统,杂散光yi制水平高

·8个尺寸微光斑,可视技术

·自动平台样品扫描成像


UVISEL2是一款完全革新的全自动光谱型椭偏仪。继承并发展了经典机型UVISEL的高准确性、高灵敏度和高稳定性等技术特点的同时,配备革新的可视系统,多达8个尺寸微光斑选项,小达35×85μm2,适用于所有薄膜材料研究领域。是目前市场上的机型。
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