产品简介
PGS/PGM 200光谱仪凭借优异的消像差设计，可实现一机两用，配合单通道探测器作为单色仪，配合CCD使用作为摄谱仪。光路由一片平面光栅和一片超环面镜组成，为紫外光谱分析优化设计。掠入射光路设计将可探测波长拓展到4nm，与此同时，摄谱仪模式下焦平面垂直于出射光轴，使CCD上接受的光通量大化。
技术特点
HJY的消像差平面光栅结合超环面镜，同时兼顾高分辨率和低像差。
在轴设计，光路易准直。
出射光直射CCD表面，光通量大。
只需更换出射狭缝和法兰，即可实现单色仪和摄谱仪之间的切换，一机两用。
支持超高真空10-9mbar，可接入同步辐射装置。
典型应用
X射线光电子能谱
等离子体物理研究
高次谐波滤波
紫外反射
EUV光源表征
技术指标
三块标准光栅可选 | |
54401010 | 1800 gr/mm 光栅，摄谱仪模式下 光谱范围：4-16.5nm (75-310eV) 或 4-26nm (47-310eV) 出射端口色散：0.4-0.68nm/mm 分辨率：0.2nm |
54402010 | 800 gr/mm光栅，摄谱仪模式下 光谱范围：10-35 nm (35–124eV) 或10-56nm (22-124eV) 出射端口色散：1.0 – 1.14m/mm 分辨率：0.3nm |
54406010 | 450 gr/mm光栅，摄谱仪模式下 光谱范围：16-65 nm (7–80eV) 或 16-103nm (12-77eV) 出射端口色散：1.7–2.7m/mm 分辨率：0.5nm |
光学设计 | HJY平面光栅加超环面镜光路设计 |
焦长 | 200 mm |
孔径 | f/17 |
分辨率 | 低至0.2nm |
波长驱动 | 步进电机 |
高真空 | 10-6 mbar |
真空泵法兰 | DN63 LF |
狭缝 | 测微狭缝 |
阵列探测器法兰 | DN100CF/ICF152 |
可选项 | |
狭缝 | 自动或固定 |
超高真空 | 10-9 mbar，配备DN100CF真空泵法兰和DN40CF真空计接口 |
单色仪模式下测得的30.4nm 氦谱线
附件
前镜腔，配备两块超环面镜，实现光源和单色仪之间的光学匹配
后镜腔，配备两块超环面镜，实现单色仪和样品室之间的光学匹配
样品室，可搭载4块直径不大于25mm的样品
偏振插片
制冷机，低至4K
真空泵
HORIBA 科学仪器事业部
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