HORIBA 科学仪器事业部
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HORIBA GX型CL光谱仪 HCLUE


仪器简介:
   电子束入射到样品上,即可用光学方法接收并分析阴发光(CL),从而提供样品详细的物理特性。它是一种无损的分析方法,结合电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果,是纳米结构和体材料的独特分析工具。
    HCLUE是一款基于反射镜耦合优化的CL系统,结合了Jobin Yvon光谱技术制造的光谱仪模块,具有高灵敏度性能,适用于弱信号测量。可同时配备两个探测器,以获得更大光谱范围。


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原理图



主要特点:
● 反射镜直接耦合
● 高灵敏度
● 扫描成像、线扫描、点测量
● 多种光栅选项
● 多种焦长光谱仪选项:320mm-550mm
● 可配双探测器以获得大光谱范围:185nm-2500nm


zhong点应用领域:
    阴发光光谱仪(CL)是用来表征材料中的缺陷,元素和杂质追踪的强大分析工具,广泛适用于各个应用领域。

1、材料科学

● 半导体和光电材料
● 介电/陶瓷   
● 氧化物膜           
● 玻璃
2、矿物、地质
● 碳酸岩       
● 晶体   
● 金刚石    
● 锆石、方解石、白云石

3、生命科学
4、gong安

CL光谱及成像:

■CL光谱:使用CL测量光谱时,可在电镜下观察并选择待测样品区域。■快速CL成像:将扫描电子束与您的光谱仪同步,提供快速成像方案。使用HCLUE系统测量的GaN样品,测量中使用了超快SWIFTTM成像模式。

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矿物样品中的白云石和磷酸钙。测量使用Flex-CLUE系统,配备iHR320光谱仪和开放电式CCD探测器。感谢Prof A. Jambon, UPMC France提供数据

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左图:使用伪彩色显示350nm-450nm之间发射光谱区。figure 1, Hyperspectral CL mapping
中图:电镜下的样品图像。figure 2, SE image
右图:对应的光谱,其中不同色彩区域与左图中显示的颜色对应。figure 3, CL spectral (RGB)


仪器分类: 单道进样方式: 双顺序注射泵
电子束入射到样品上,即可用光学方法接收并分析阴发光(CL),从而提供样品详细的物理特性。它是一种无损的分析方法,结合电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果,是纳米结构和体材料的独特分析工具。
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