技术分享丨赛默飞RGB CL阴极荧光探测器

阴极发光是固体物质的一种表面物理荧光现象，在扫描电镜中，当一束高能电子束轰击固体样品的表面时，入射电子与样品发生作用，产生诸如二次电子、背散射电子、特征X射线、俄歇电子等信号，而对于某些特定材料，如矿物、氧化铝、三/五族材料（GaAs，InGaN）、磷光剂、燃料及一些有机化合物等，入射电子会将材料的电子轰击至导带让其处于激发态，受轰击电子会快速回复至价带，回复过程中产生的能量差就以可见光的形式释放出来，即阴极发光，阴极发光是一种荧光，又称阴极荧光，其发光波谱多数为可见光范畴，波长多数在400~760nm之间。阴极荧光的发生是由于物质中有杂质元素的存在或晶体结构中如位错、空位和偏离化学计量比、结晶体中的无序、晶格破坏等缺陷的存在。

利用专用阴极荧光探测器（CL探测器）采集阴极荧光（CL）数据，在地质、光电、失效分析、陶瓷、玻璃及其他领域，揭示样品中利用常规电子信号或X射线成像技术无法显示的特性。将CL数据与形貌、晶体结构和元素信息相关联，可以更好地了解样品的光子特性、组成、材料质量或是历史。

传统CL探测器依赖样品与物镜之间的反光镜，为了有效检测荧光信号，反光镜需要在大的（固定的）工作距离下精确对中。这种设计限制了扫描电镜的视野宽度，也限制甚至阻止了电子和X射线的检测，需要将CL探测器退出再次扫描样品才能获取此类信号。

赛默飞新型RGB CL探测器采用平面式设计，消除了反光镜的诸多限制，与伸缩式背散射电子探测器类似，可在样品和物镜之间滑动。探测器面积大，无需进行光学对中，且不影响视野宽度。CL探测器采集信号的同时，不影响二次电子（SE）、背散射电子（BSE）、X射线信号等的采集，这样，对样品扫描一次，就可将CL数据与SE、BSE和 EDS多重信号关联起来。

RGB CL探测器集成在电镜用户界面中，电子束开始扫描即可获取彩色图像，助力多用户实验室，获得CL数据，并与多种数据进行无忧关联。