扫描电镜清洗设备ZONESEMⅡ

日立紫外清洗设备是利用紫外光和臭氧对样品表面污染物进行清理的前处理设备，主要针对样品表面的有机污染物，相比等离子清洗更加温和，对样品损伤小。

清洗系统:

2种清洗模式

真空清洗和真空储存

清洗时间范围为1min-30min（步幅1min）

真空系统:

无油真空系统（干泵3.8L/min）

3min内达到所需真空度

真空范围为100-500torr(100步)

样品杆:

3孔或5孔可选

适合于各型号透射电镜样品杆

有效清理区域直径3mm