天津拓普 TPY-2自动椭圆偏振测厚仪

产品介绍：

TPY-2 自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动控制，自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。

主要技术参数：

测量范围：薄膜厚度范围 1~300nm；

折射率范围1~10

入射角调节范围：20~90°

膜厚精度：±1nm

折射率重复精度：±0.01

外形尺寸/重量：590mm*390mm*290mm/25kg

主要配置

TPY-2 自动椭圆偏振测厚仪主机

控制系统：电控箱

二氧化硅膜样片

配套专用测量分析软件