天津拓普 TPY-1椭圆偏振测厚仪

产品介绍：

TPY-1 椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节，自动测量薄膜厚度和折射率，精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器软件具有生成表、查表以及精确计算等功能，方便用户使用。

主要技术参数：

测量范围：薄膜厚度范围 1~300nm；

折射率范围1~10

入射角调节范围：20~90°

膜厚精度：±1nm

折射率重复精度：±0.01

外形尺寸/重量：590mm*390mm*290mm/25kg

主要配置

TPY-1 椭圆偏振测厚仪主机

控制系统：电控箱

二氧化硅膜样片

配套专用测量分析软件