上海屹持光电技术有限公司
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荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

​荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

产品介绍:

ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体(LPP)的EUV光源。该光源具有极高的亮度和极高的稳定性。它采用可自刷新的材料,无需中断和更换燃料盒,因此持续运行时间极长。

ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而,对于掩模检查的应用,公司开发了一种高频锡旋转靶,已在quan球范围内获得专li。

产品特点:

·高亮度以及出色的稳定性

·最少的碎片

·极高的正常运行时间

·高占空比和交钥匙操作

·用户友好的自动化协议,确保系统平稳运行,没有中断的风险。

产品应用:

·掩模和表面检查:

·图案掩模检测 (PMI)

·区域掩模检测 (AIMS)

·掩模空白检测 (MBI)

·EUV 扫描仪检

·材料科学

·晶圆检查

 TEUS 系列激光等离子体光源

型号参数:

型号

TEUS S-100

TEUS S-200

TEUS S-400

激光平均功率W

100

200

400

脉冲重频 kHz

25或70

50或135(可调)

100或200(可调)

EUV功率立体角 sr

0.05

等离子体尺寸 μm

≤ 60或 ≤ 40

≤ 60或 ≤ 45

带内辐射转换效率(13.5 nm±1%)

2 %   @2π·sr or 1.6% @2π·sr

碎片处理系统后角内光通量mW

11 或 9

22 或 18

44 或 40

碎片处理系统后光谱亮度W/mm2·sr

≥ 80或 ≥ 140

≥ 160或 ≥ 280

≥ 310或 ≥ 500

等离子体稳定性

3% rms

在24/7运行状态下,在不使用特殊膜过滤器情况下,收集器寿命下降10%

不少于8个月

不少于4个月

不少于2个月

在24/7运行状态下,使用特殊膜过滤器情况下,收集器寿命下降10%

不少于18个月

不少于9个月

不少于4个月

维护时间间隔

4 个月 - 1 天

3个月 - 2天

2个月 - 1天

24/7 运行模式下的正常运行时间***

4个月

3个月

1个月

电源

5 kW

8.5 kW

10.5 kW

尺寸(长×宽×高)mm

1500×1000×1200

重量,包括激光组件 kg

770

房间洁净度等级

ISO 7

水流量

10升/分钟

15升/分钟

25升/分钟


ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体(LPP)的EUV光源。该光源具有极高的亮度和极高的稳定性。它采用可自刷新的材料,无需中断和更换燃料盒,因此持续运行时间极长。
ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而,对于掩模检查的应用,公司开发了一种高频锡旋转靶,已在quan球范围内获得专li。
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