上海屹持光电技术有限公司
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荷兰ISTEQ公司XWS系列宽带等离子光源

荷兰ISTEQ公司XWS系列宽带等离子光源

ISTEQ是一家创新的高科技公司,为quan球各种工业应用开发了广泛的现成解决方案-高亮度白光光源。 这些主要用于半导体行业以及材料分析和光谱学。ISTEQ主要重dian是开发和制造等离子光源、光谱学和显微镜设备,适用于从X射线到红外线的光谱区域。

产品介绍:

ISTEQ 的 XWS 光源产品经过专门开发,适用于多种应用,包括光谱学、高分辨率显微镜、薄膜测量、表面计量等。产品来源基于jian端技术,并受quan球专li保护。

XWS 宽带光源的光谱范围有 2 种不同配置,具体选取决于其具体应用:

无臭氧配置(OFR):光谱范围为 240 nm 至 2700 nm

UV 配置:光谱范围为 185 nm 至 2700 nm

产品特点:

·连续激光等离子体放电            ·由于无电极,使用寿命长

·宽光谱范围 190-2500 nm       ·发射体积小

·高光谱亮度                           ·高时空稳定性 STD < 0.15

·通过软件、GUI 进行参数监控,外部光源控制

产品应用:

·吸收光谱和荧光光谱                          ·色谱、微流体、芯片实验室

·显微镜,包括共聚焦和荧光                ·液滴光谱仪、细胞荧光计等中的检测器。

·微电子诊断系统(污染和缺陷控制)   ·生物医学应用(光动力疗法等)

·薄膜和临界尺寸(CD)计量           

·人造阳光系统(测试系统、照明等)

         

           

型号参数:

型号

XWS-30

XWS-65

XWS-X

光谱范围

190 - 2500 nm (UV )

250-2500nm(OFR )

190 - 2500 nm (UV)

250 - 2500 nm(OFR)

190 - 2500 nm (UV)

zui大光谱亮度mW / (mm²·nm·sr),(350-550   nm)

48(UV 配置)

68(UV 配置)

60(OFR 配置)

130(UV 配置)

自由空间输出功率

高达 1W

高达 1.8W

高达 1.5W

光纤耦合输出功率mW zui小/平均/zui大

300 /   319 / 350

510/560/630

510/575/650

等离子体尺寸(光谱范围 350 - 550 nm),μm

160 x   320 (UV 配置)

160 x   360(UV 配置)

150 x   260 (UV 配置)

使用寿命(小时)

10000

时间和空间稳定性 (STD)

<   0.15%

<0.05%

光源介质

氙灯

自由空间输出 NA(默认)

0.5

0.4

zui大输出NA(根据要求)

0.6

0.5

外部光学接口

C 接口,30 mm光学笼

等离子体到输出窗口的距离,mm

14.4

21.5

光纤接口(仅适用与FCU版本)

SMA或FC

电源

100 -   240 V,50/60 Hz

气体清扫(仅适用于 UV 配置)

氮气 99.99%

光头尺寸mm

149 x   166 x 145

130 x   122 x 106

130 x   122 x 106

电源尺寸 mm

210 x   85 x 46

351 x   175 x 232

351 x   175 x 232

水冷光头尺寸mm

-

113 x   150 x 106

113 x   150 x 106

液冷单元尺寸mm

-

350 x   166 x 184

350 x   166 x 184


ISTEQ是一家创新的高科技公司,为quan球各种工业应用开发了广泛的现成解决方案-高亮度白光光源。 这些主要用于半导体行业以及材料分析和光谱学。ISTEQ主要重点是开发和制造等离子光源、光谱学和显微镜设备,适用于从X射线到红外线的光谱区域。
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