NightN斐索干涉仪RIF
产品介绍:
NightN开发了斐索干涉仪RIF和配套软件。该软件旨在处理具有额外倾斜度的干涉图案。
产品规格:
1. 孔径:10 至 95 mm(可选高达 300 mm)
2. 工作频率:高达 25 Hz
3. 测量精度:0.032 µm (P-V)
4. 测量像差:5 µm(P-V)
5. 光源:二极管激光器
6. 波长:0.65 µm
7. CCD:FireWire接口相机
软件特色:
1. 可处理实时图像或保存为 .bmp 图像
2. 测量精度约为λ/400
3. 结果显示为 Zernike 多项式系数、P-V 和 RMS 值,相位分布的 2D 和 3D 表示
为了获得被测表面的信息,在 x 方向引入倾斜,并获得 8 到 60 条干涉条纹处理过程包括:
1. 获取干涉图案图像(或从 .bmp 文件加载)
2. 确定感兴趣的区域
3. 过滤数据,排除假极值
4. 寻找极值
5 将相位转化为极值坐标的表示形式,通过 Zernike 多项式分解、计算峰-谷误差,均方根(RMS)和点扩散函数(PSF)
软件界面
上海屹持光电技术有限公司
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