Energetiq 激光驱动宽带光源 EQ-99X

Energetiq激光驱动白光光源

Energetiq光源是一款高亮度，高稳定、长寿命宽光谱光源，采用革命性的光源技术——LDLS™激光驱动光源技术，使用高功率连续激光直接聚焦氙灯内的氙离子加热至非常高的的温度，从而发出高效的宽频谱光。具有高可靠性，高性能，高亮度，长寿命，紫外功率高等特点。其产品具有很宽的光谱范围，谱线包括深紫外线（DUV）, 并覆盖从可见光到近红外光区（NIR），波长范围从 170nm到2100nm 以上。

产品特点：

长寿命：10000小时7*24

高亮度：普通氙灯30倍以上

全光谱：可取代氘灯，卤素灯，氙灯

光斑稳定性高

非常好的短期长期功率稳定性

应用：

紫外可见光谱，显微照明

材料表征

光学元件测量

环境，气象监测

                               EQ-99X                                                                                                    EQ-99XFC

                                EQ-77                                                                                                             EQ-400

产品参数：

目前LDLS激光驱动白光光源已广泛应用于科研和工业生产，超过2000台光源出货，中国大部分高校和部分半导体检测厂家均在使用该光源且反馈良好！

LDLS™激光驱动光源技术介绍

目前，我们在光谱学、测量等领域宽光谱光源主要集中与卤素灯，氙灯，具有低成本、宽光谱、产量大等优点。但是寿命短，光斑点大，光谱不够平滑，亮度不够高等特点仍然在很多应用上有许多的限制。随着全新的激光驱动白光光源LDLS技术的兴起，极大的提高了白光光源的应用范围和实用能力。

                                            激光驱动白光光源原理示意图

LDLS首先通过氙灯的高压电极点亮氙灯，高能量1μm连续激光经过聚焦后在氙灯上，然后关闭氙灯高电压，聚焦的激光维持高亮度等离子体发光，对于EQ-99X和EQ-99XFC等离子体光斑大小约70*140微米，易于聚焦/耦合等光路处理。

产品技术优势：

1.       宽光谱，高亮度：LDLS激光驱动白光光源具有很宽的光谱表现，从深紫外-可见光-近红外全覆盖，在170-2100nm均有极高的亮度表现

由下图我们可以看出EQ-99光源亮度在紫外区域是75W氙灯的10倍，可见光区域也是数倍；对于30W的氘灯亮度更是100倍以上。

2.       长寿命：LDLS激光驱动光源在工作10000小时后仍具有90%输出功率，而氙灯下降到50%只需要2000小时，氘灯只需要1000小时，极大地节约换灯，中断实验/产品线调试等运行成本，另外LDLS还也可以在24*7条件下持续工作。

3.       光斑极小：下面三幅分别为氙灯，LDLS激光驱动白光光源的等离子发光体图。经过测试氙灯尺寸大于2mm*2mm，EQ-77约为150*300μm，EQ-99约为70*145μm。极小的等离子体光斑带来非常高亮度。易于聚焦于光谱仪/分光仪，光路搭建，在使用200μm以下狭缝时具有非常高的优越性，进入的能量比普通光源能高达10-100倍；另外耦合于光纤中具有非常好的效果，EQ-99XFC使用200μm光纤可以输出50mW的光，而普通氙灯卤素灯几乎很难耦合。

氙灯（左）和LDLS（右）等离子体实物图

4.       等离子体位置/功率非常稳定：下图为等离子体中心位置监测图，在200Hz频率下共2500个监测点，平均纵向不稳定度为0.094μm，横向不稳定度为0.145μm，具备了极高的光斑位置稳定性，从而保证了测量过程和结果的稳定性。1000个积分时间为8ms共8s强度测量，平均强度不稳定性为0.25%，峰峰值不稳定性为0.55%。

                              等离子体中心位置                                                                                   强度不稳定性测量

上海屹持光电技术有限公司

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