典型实例
1，磁控溅射合金膜
2，ICPPECVD 制备高厚低应力氧化硅薄膜
3，沉积细胞定位电极
4，磁控溅射的 制备的 Au/TiO2 连续
主要设备：
1，磁控溅射镀膜系统
2，磁控溅射镀膜机
3，磁控溅射真空镀膜机
4，电子束蒸发镀膜仪
5，高密度等离子体增强化学气相沉积设备
上海屹持光电技术有限公司
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