硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。
产品特点：
l 全光学，非接触硅片厚度测试
l 高动态范围测量粗糙表面
l 湿法刻蚀过程中实时测量
高灵敏度 高精度 快速测量 远程控制
结构示意图
SIT-200
产品参数：
测量目标
硅片
测量厚度
10-500μm
光源
1515-1585nm扫描
功率
0.6mw，Class1
指示光源
红光，Class1M
测量时间
20ms
重复性
0.1μm
输出监控
干扰信号（电学）
PC接口
网口
供电
100-240V，50/60Hz
尺寸
364 x 147 x 391mm
重量
9kg
上海屹持光电技术有限公司
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