沈阳科晶自动化设备有限公司
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PCE-66紫外臭氧清洗机

PCE-66是一款小型紫外臭氧清洗机,可用于清洗各种单晶基片,以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。内置加热管,可加热基片,加热温度上限150℃,PID方式控温,可设置30段升降温程序。·体积小,重量轻
·能除去分子级别的污染物
·可清洗各种基片

产品名称
PCE-66紫外臭氧清洗机
产品型号
PCE-66
主要参数
1、电源:AC 220V 50HZ
2、功率:750W
3、加热温度上限:150℃
4、照射时间设定:0-30min
5、标配一块石英样品台用于放置基片,避免污染
6、石英样品台尺寸:150*150*20mm
7、抽拉盒尺寸:200*230*23mm
8、紫外线灯
· 形态:UV灯管
· 功率:8W*4=32W
· 波长:185nm+254nm
· 辐照面积:150*150mm
· 光照强度:80μW/cm2

9、风机
· 设备背面设有一个排风口,尺寸:φ80mm
· 标配一个风机安装在设备背面的排风口,设备背面的三芯插座为风机的电源插座
· 将铝波纹管与风机连接,将臭氧排出到实验室外
· 标配波纹管长度:5米

10、温控系统
· 包含一款858P型温度控制器;
· PID自动控温系统;
· 智能化30段可编程控制;
· 内置过热保护和热电偶故障报警;
· 控温精度:±1℃;
11、产品规格:
· 抽屉不打开尺寸:长270mm*宽300mm*高247mm
· 抽屉打开尺寸:长270mm*宽540mm*高247mm
·重量:约8.6kg























· UV装置应由工矿企业、院校等相关专业人员操作或指导使用。
· 严禁直接用眼直接看点亮中的UV灯管,否则会引起眼的伤害,非常危险。
· O3臭氧是刺激性臭及强氧化性的气体,对身体有害。尽量在通风柜或通风环境使用。
· 应避免在高温、多湿、多尘、腐蚀气体、酸碱性等的环境中使用。
· 为保护生命,请务必连接接地线,并保证可靠。
· 清扫等作业时必须先将电源切掉。
· 未经许可不可对本装置进行改造或加工,本公司一概不负对已改造、加工设备的责任。
· 操作时请使用清洁的手套。用手直接接触UV灯管会在灯管外表留下指纹,使紫外线的透过率降低。灯管上摸上指纹时,请用沾酒精的棉布擦去。(注:灯管属耗材,不在保修范围内)
· 如需更换灯管时,必须切断电源,手拿灯管时应戴好棉手套。(注:需要专业工作人员进行更换)
· 石英照射管随着时间的推移,内外面会吸附污尘,引起紫外线透过率下降,根据污染情况请定期进行清洗。


PCE-66是一款小型紫外臭氧清洗机,可用于清洗各种单晶基片,以保证更好的成膜质量。同时也可去除光刻胶、改善材料表面润湿性、清洗SEM和TEM样品及紫外活化聚合物等。内置加热管,可加热基片,加热温度上限150℃,PID方式控温,可设置30段升降温程序。
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