VBF-1200X-TSSG顶部籽晶法晶体生长炉,可利用助溶剂法生长各种材料单晶。配备精密旋转提拉机构可用于顶部籽晶助溶剂法生长各种晶体材料,提拉和旋转速度采用PLC触摸屏控制,操作简便。箱式炉采用氧化铝纤维作为炉膛材料,以电阻丝为加热元件,其腔体尺寸为φ240mm×200mm(H),ZG温度可达1200℃。采用欧陆仪表进行控温,可根据不同的客户需求来设定升降温程序(ZG24段),控温精度可达±0.1℃。
1、由1200℃井式箱式炉与精密旋转提拉机构两部分组成,可用于TSSG法生长各种材料单晶
2、ZG温度可达1200℃
3、提拉和旋转速度采用PLC触摸屏控制,操作简便
4、炉体可移动,装样方便
5、箱式炉采用双层壳体结构,使得表面温度<60℃
产品名称 | VBF-1200X-TSSG顶部籽晶法晶体生长炉 |
技术参数 | 1、工作电源 AC220 50/60Hz 功率:4KW 2、炉体结构参数 加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝 炉膛材料:氧化铝多晶纤维 内部加热区尺寸:φ240mm×200mm(H) 3、工作温度 ZG工作温度:1200℃(<1h) 连续使用温度:1100℃ 4、控温方式 采用欧陆仪表进行控温,控温精度:±0.1℃ 智能化24段可编程控制 ,可设置24段升降温程序 升温速率:0-10℃/min(建议≤5℃) 5、籽晶提拉旋转机构 PLC触摸屏控制,操作方便 步进电机控制 籽晶ZD直径:30mm 提拉行程:250mm 提拉速度:0.1-50mm/h 旋转速度:0.1-23r/min 快速升降速度:50mm/min |
产品规格 | 产品尺寸:650mm L*540mmW*1950mm H |
沈阳科晶自动化设备有限公司
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