小型4通道管式炉

产品名称

GSL-1700X-MGI-4小型4通道管式炉

产品型号

GSL-1700X-MGI-4

技术参数

炉体结构

炉体由4个小管式炉组成，采用氧化铝炉管，尺寸为25 OD x 22 ID x 460 Lmm

每个加热模块都由独立的温控系统控制，极限温度可达1700℃

快速密封法兰，安装有机械真空压力表，进气端安装有浮子流量计，样品可在真空或气氛保护环境下进行热处理

可同时放入4个样品，在不同温度下进行热处理

加热元件

硅钼棒

工作温度&恒温区

连续工作温度1600℃

极限工作温度 1700℃(< 1 hrs)

恒温区: 30mm(±1℃)，60mm(±5℃)

炉管

高纯氧化铝炉管：Φ25X L 460 mm，4根

4个浮子流量计

快速连接法兰，KF25真空接口

真空度：10-5 torr（采用分子泵）

有一真空泵接口（KF25）,可在本公司购买各种真空泵

温度控制

用触摸屏设置温度程序，带有超温和断偶保护

4个温区分别由4个独立的温控系统控制

4根B型热电偶

可用电脑设置和显示温度程序

极限加热速率

10℃/ min

控温精度

±1℃

淬火（可选）

此管式炉可升级为立式淬火炉（加上旋转机构和淬火剂罐）

功率，工作电压

6 KW, 208 - 240V单相, 50/60Hz

注意

· 此管式炉，只可在真空或常压状态使用，炉管内的相对气压不可大于0.02MPa

· 进气流量<200 SCCM ( 200ml/min)

· 向炉管内通气的气瓶上必须安装双级减压阀（可在本公司购买）

· 可选购本公司的供气系统，可用于进行CVD实验

产品规格

尺寸： 1000 L x 650 W x 640 H mm