新耕（上海）贸易有限公司
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HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源

HFV (~2 MHz) 源
活的 HFV 源主要用於200和300 mm 晶程、平面示器和 DVD 的生器，子化物理相沉 (IPVD)、CVD 和刻提供了程一致性。通用源的特有位合成出和微理器控制，出功率5和8 kW。此外，其出率1.765-2.165 MHz。上的率可行，以保在各反室和程方法下的可重行。

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