| Navigator 位式阻抗匹配器 |
| 多功能 Navigator 匹配路的先技能在多阻抗下（15W 至 30kW，率至60MHz）行快速、而可靠的匹配。匹配路配了微理器控制步路和用可的位演算法，使它能提供比比法更佳的一致性和精性。也使得它可以化半、太能、FPD 以及 MEMs 造流程（包括刻、CVD、HDP-CVD、PVD 和腔清洗用）的送程功率。一可的部 Z’Scan 射感器可提供程功率和阻抗的即量和分析，而使您能够大大地降低程化性。此外，可的前面板 (VFP) 使您能够通一台人控制匹配路。 |
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