科睿设备有限公司
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等离子体刻蚀仪

电极:9.2“。

发生器:300W,RF,13.56MHz。

气体管道:最高6通道。

控制器:7“触摸屏自动及手动控制

体积:680*1100*1300mm



等离子体刻蚀仪
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