1. 腔体：140*200*110;多种腔体定制。
2. 发生器： 100W，20-100KHz;多种功率发生器定制。
3. 控制器：7英寸触摸屏,自动&手动控制 。
4. 体积：580*580*340。
选配：石英腔体（直径100*200mm）;多种石英腔体定制
RIE模式，双模工作，多组电极设计
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