日本电子JSM-6510扫描式电子显微镜

仪器简介：

JSM-6510是一款高性能低格的描子微,解析度可3.0nm。可按用要求定做的操作介面便於用直操作器。SmileShot保得到**子光。JSM-6510的LGS型大品台和GS型普通品台可分6英寸直和32mm直的品。

技术参数：

放大倍: 5-300，000倍
解 析 度: 高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)
子 : 全自，亦可手整
品 台: 大全中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，斜：-10 - +90度，旋：360度
: 工中（）
像模式: 二次子像，成份像，拓像，影像
加速: 0.5-30KV
聚 光 : 可焦聚光
物 : 超形物
物光: 3，X-Y可
位 移: ±50微米
自功能: 聚焦，亮度，度，消像散
最大品: 直：150mm
品交: 抽拉式品台
真空系: 全自散泵DP。分子泵TMP（）
作系: Windows XP

主要特点：

1. 大的子光系，操作
zuixin的超型物，保3nm的解析度。很容易得到高品照片。
域描圈可以得到zuidi5倍的放大倍而提高察品的效率。
秀的子光系可以在大束流下形成小束斑，有利於微分析。
2. 高解析度
JSM6510系列超形物，在工作距8mm的解析度3nm，超形物的外形可以做到短工作距情下品仍然可以大角度斜。
3. 全自子
JEOL的全自子能生小子束源，只要好加速，就可以行察或成分分析。
子偏是子亮度的重要部件。JEOL的自加系能著化整偏，使得哪加速，都能得到**亮度。
JEOL有的像散功能能自正加速或工作距改而生的像散。
4. 多示模式
主示可以同示幅即像，分二次子像和背散射子像，考也可 示２幅即像，例如二次子像，背散射子像或者ＣＣＤ相像。
即示模式可以用於不同信像的比，用可在察表面形貌的同解品的成份分情。
用多像示模式，"PHOTO"按可同得存2或3幅全屏尺度像。
5. 易懂的操作介面及功能表
操作介面，直，默的操作介面示了最常用的功能按，以文明，滑鼠即可操作所有功能。
即量，片上的度和角度等能在示器上行量。
6. 可焦聚光修正
做表面察和元素分析等不同用，合束流非常重要，一般是通聚光物
光控制子束流的。如果在整束流程中，焦和察域位移化很小， 整起比方便。JEOL有的可焦聚光可以保一。
7. 全中品台
品台斜，全中品台可使像位移和焦化最小。使用此品台可多方向察粗糙表面品，用一些不同角度取的片成立片，可通立片察深度。
焦在品斜後X，Y或旋方向化很小，使大品巡效率很高。
8. 低真空SEM
低真空描，除了包括高真空模式外，包括低真空模式，在低真空模式下，不品以及容易放的品都可以直接察。合JEOL有的冷乾燥技，可在低真空模式下快速察含水品。