日本电子JSM-7610F热场发射扫描电子显微镜

分辨率: 1.3 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV）
放大倍数: 25 到 1,000,000x
加速电压: 0.1 到 30 kV
束流: 1 pA 到 200 nA（15 kV时）
光阑角控制镜: 内置
探测器: 上方和下方探测器
能量过滤器: 新型γ过滤器
柔和光束: 内置
数字图像: 1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840
样品交换室: 单步加载/卸载
样品台: 全对中，5轴马达驱动
X-Y: 70 mm x 50 mm(IA) 110 mm x 80 mm(II) 140 mm x 80 mm(III)
倾斜: -5 到 +70°
旋转: 360°
工作距离: 1.5 mm 到 25 mm
真空系统: 2 SIPs，磁悬浮轴承 TMP、RP
节能设计: 正常运行：1.2 kVA 休眠模式：1 kVA
操作系统关闭（OFF）：0.76 kVA

l 超高分辨图像的观察，最大放大倍数1百万倍

zuixin开发的强励磁物镜极靴设计，JSM-7610F的象差小，图像分辨率高，特别是在低加速电压下仍保持很高的分辨率，适合于材料表面的高分辨图像观察，分辨率指标如下：

1.0nm (二次电子,加速电压：15kV)

1.3nm (二次电子,加速电压：1kV)突出的低压分辨率

l 分子泵系统：真空系统洁净，抽气速度快，维护简单。

l 五轴马达样品台标准控制：使用极为方便。

l 大样品室：利用JSM-7610F的标准配置，即可进行直径最大为150mm样品的观察；绝大部分操作通过鼠标即可实现。

l 能量过滤器：可以按任意比例混合二次电子和背散射电子图像。

l 圆锥型热场发射电子枪：电子束虚漂移小，改变加述电压无需手动调节虚漂移点。

l **光阑角控制透镜： 无须手动切换光阑，束流大小完全由计算机自动控制。

l 离子泵的电源支持：停电后最长可以坚持14天，电池更换每年只需200元以内。

l 良好的可操作性：控制界面设计非常友好，使用极为便利。

l 多通道显示：最多可以选择四种图像同时显示，高位二次电子像，低位二次电子像，背散射组成像和背散射拓扑像。

l 稳定的GB模式：标准配置。可以有效YZ充电和提高点电压下的分辨率。

l 微区的成份分析几何尺寸好：配合能谱仪（EDS）分析时，工作距离只有8mm， 取出角35度，计数率是其他厂家的一倍。

l 超长的发射体寿命: 由于采用In-Lens技术，我们的束流强度可以达到200nA，其他厂家只能做到20nA.我们在做成分分析时，或搭载EBSD或WDS时，分析速度和结果的精确度远远高于他们。采用了In-Lens电子枪技术和wan美的气锁换样系统，我们的发射体质保3年，用户一般使用在6年以上.