钨灯丝扫描式电子显微镜

仪器简介：
JSM-6610A/ JSM-6610LA分析型扫描电子显微镜，与日本电子公司的元素分析仪（EDS）组合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制，操作员只用一只鼠标，就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。

技术参数：
放大倍数: 5-300，000倍
解 析 度: 高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV)
电 子 枪: 全自动，亦可手动调整
样 品 台: 大全对中型X=125mm，Y=100mm，Z=5到80mm，倾斜：-10 - +90度，旋转：360度
灯 丝: 工厂预对中灯丝（钨）
图像模式: 二次电子像，成份像，拓扑像，阴影像
加速电压: 0.3-30KV
聚 光 镜: 可变焦聚光镜
物 镜: 超级锥形物镜
物镜光阑: 3，X-Y可细调
电 位 移: ±50微米
自动功能: 聚焦，亮度，衬度，消像散
最大样品: 直径：220mm
样品交换: 抽拉式样品台
真空系统: 全自动扩散泵DP。分子泵TMP（选购）
操作系统: Windows XP


主要特点：
1．大样品室和马达驱动样品台
样品室对应样品的直径可达到200mm,5轴马达驱动确保了GX率的样品移动和观察。
2．操作窗口
直观的操作界面的设计，简明易懂便于迅速掌握操作。
3．支持多用户
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标，营造GX率的操作环境。用户登录时，即可加载已注册过的设定。
4．同时显示两幅图像
画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。
5．微细结构测量
适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像，保存在文件中。
6．标准的全对中样品台，能收录三维照片
3D Sight（选配件），能够进行平面测量和高度测量，实现立体俯视图。
7．从图像观察到元素分析，配合连贯一条龙
分析型扫描电子显微镜配备两台监视器，一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析（EDS）。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便与舒适。
8．维护简便
工厂预置中心灯丝，十分便于更换。因此，可长期保持稳定的高性能。此外，操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。
9．可信赖的真空系统
真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件，体现了操作稳定，维护简便的特色。