日立SU1510扫描电子显微镜

结构紧凑，性能高

• 与现有型号相比，减少了20%的体积。

• 标配可变压力模式。

• 保证30 kV电压时，二次电子3.0 nm的分辨率，
  背散射电子4.0 nm（6帕）

• 可满足直径153 mm，高60 mm的样品

• 采用TMP真空系统，节省占地面积和电源功耗。