产品介绍:
Lake Shore的CPX-VF探针台增加了±2.5T的超导磁体,可以进行C-V、I-V、微波和电光探测,以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CPX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CPX-VF 是Lake Shore探针台中结合微波和磁场测量的优秀探针台之一。
CPX-VF在直径达51mm(2英寸)的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度,降低了样品冷凝的可能性,这是测量有机材料的关键要求。
CPX-VF使用液氦或液氮进行连续流制冷(使用超导磁体时必须使用液氦),其操作温度范围为4.2 K到400 K,使用低温选件可将基础低温扩展到2 K。
主要特征
√ 温度范围4.3 K~400 K
√ 可选低温1.9 K
√ 垂直磁场±2.5 T
√ 最 大2英寸(51 mm)样品
√ 样品可面内±5°旋转
√ 样品振动<30 nm可选
√ 90°探针样品测量
√ 霍尔效应测试选件
√ 超高真空选件
√ 可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境
主要参数及描述
磁场 | ||
磁体类型 | 超导螺线管 | |
磁场方向 | 垂直方向(垂直于样品面) | |
磁场控制 | 电流控制 | |
磁场大小 | 最 大±25 KOe(±2.5 T) | |
磁场均匀性 | 0.5% 10 mm直径;1% 25 mm直径 | |
探针针尖移动 | <5μm 整个磁场范围内 | |
温度范围 | ||
最 多配置6个探针臂 | 基础温度4.3 K,温度控制范围4.4 K ~ 400 K | |
安装PS-LT低温选件 | 基础温度1.9 K,温度控制范围2 K ~ 400 K | |
温度稳定性 | 液氦 | |
基础温度 (无加热控制) | ±15 mK | |
<10 K | ±50 mK | |
10 K ~ 100 K | ±20 mK | |
101 K ~ 250 K | ±15 mK | |
251 K ~ 350 K | ±15 mK | |
351 K ~ 400 K | ±50 mK | |
真空 | 以TPS-FRG分子泵为标准 | PS-HV-CPX选件 |
抽真空时间 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) | 10 min (<1 × 10-3 Torr) |
室温 | <5 × 10-4 Torr | <5 × 10-6 Torr |
基础温度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
最 高温度 | <5 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
循环时间 | ||
总循环 | 4 h | |
抽真空 | 0.5 h | |
探针台冷却 | 2 h | |
探针台升温 | 1.5 h | |
样品 | ||
最 大尺寸 | 51 mm(2英寸) | |
样品背光接口 | 不可选 | |
样品旋转 | ±5°样品面内旋转 | |
样品振动 | <300 nm(标准),<30 nm(配置减震选件PS-PVIS) | |
探针配置 | ||
最 大探针数 | 6 | |
探针臂温度计 | 用于监视探针臂的温度 | |
冷却探针支架 | <20 K(样品在基础温度下) | |
探针支架 | 连接磁体防辐射屏热沉 | |
探针臂支架 | 连接防辐射屏热沉 | |
DC/RF探针 | 电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量 | |
微波探针 | 频率范围从DC到67GHz | |
光纤探针 | 可用于电光测量 | |
落针范围 | 所有探针均可在直径为 25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针 |
QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司
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