QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司
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美国Lake Shore CPX多功能低温探针台

产品介绍:

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求,是Lake Shore功能最 多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层,以实现优异的低温性能,其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。

 

由于采用了分流设计,样品可在防辐射屏冷却时保持温度,与高真空选件,最 大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝,这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外,CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm(2英寸)的晶圆(最 多102 mm[4英寸]可选)。该系统使用液氦或液氮运行。


主要特征

√  温度范围4.3 K~475 K

√  可选低温1.9 K/1.6 K

√  标准2英寸(51 mm)样品,4英寸(102 mm)可定制

√  样品可面内±5°旋转

√  样品振动<30 nm可选

√  超高真空选件

√  可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境

√  环形磁体选件最 大0.19T


主要参数及描述

温度范围


最 多安装6个探针臂

基础温度4.3 K,控制范围4.4 K ~ 475 K

安装PS-LT低温选件

基础温度1.9 K,控制范围2 K ~ 475 K

安装PS-VLT-CPX极低温选件

基础温度1.6 K,控制范围1.65 K ~ 400 K

安装PS-LL-CPX选件(Load Lock)

基础温度10 K,控制范围10 K ~ 400 K

温度稳定性

液氦

液氮

基础温度 (无加热控制)

±15 mK

±20 mK

<10 K

±50 mK

10 K ~ 100 K

±20 mK

±50 mK

101 K ~ 250 K

±15 mK

±50 mK

251 K ~ 350 K

±15 mK

±100 mK

351 K ~ 675 K

±50 mK

±100 mK

真空

以TPS-FRG分子泵组为标准

PS-HV-CPX高真空选件

抽真空时间

30 min (<1 × 10-3 Torr)

10 min (<1 × 10-3 Torr)

室温

<5 × 10-4 Torr

<5 × 10-6 Torr

基础温度

<1 × 10-5 Torr

<5 × 10-7 Torr

最 高温度

<1 × 10-5 Torr

<5 × 10-7 Torr

循环时间


总循环

3 h

抽真空

0.5 h

探针台冷却

1.25 h

探针台升温

2 h

Load Lock样品更换时间

1小时(配有PS-LL-CPX选件)

样品


最 大尺寸

51 mm(2英寸)标准

25.4 mm(1英寸)安装PS-VLT-CPX高真空选件

25.4 mm(1英寸)安装PS-LL-CPX  Load Lock选件

样品背光接口

不可选

样品旋转

±5°面内旋转

样品振动

<300 nm标准,<30 nm配有PS-PVIS减震选件

探针配置


最 大探针数

6

探针臂温度计

用于监视探针臂的温度

冷却探针支架

<20 K(样品在基础温度下)

探针支架

连接样品台或4K防辐射屏热沉

探针臂支架

连接防辐射屏热沉

DC/RF探针

电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量

微波探针

频率范围从DC到67GHz

光纤探针

可用于电光测量

落针范围

所有探针均可在直径为 25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针


CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求,是Lake Shore功能Z多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层,以实现优异的低温性能,其低温选件可使样品温度低至1.6 K。

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