美国Lake Shore CRX-VF无液氦超导磁体探针台-QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司

详细信息

产品介绍：

Lake Shore的CRX-VF是一款无液氦闭循环制冷的探针台，它增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CRX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CRX-VF可在直径达51毫米（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。

CRX-VF可在10 K至500 K的温度范围内工作，它使用独立的闭循环制冷机，开机后可在无人协助的情况下冷却至低温。该系统为寻求兼顾无液氦操作的便利性和Lake Shore产品可靠的测量性能的用户提供了完整的解决方案。

主要特征

√ 温度范围10 K~500 K

√ 垂直磁场±2.5 T，可定制3T以上磁场

√ 最大2英寸（51 mm）样品

√ 90°探针样品测量

√ 霍尔效应测试选件

√ 超高真空选件

√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境

主要参数及描述

磁场
磁体类型	超导螺线管
磁场方向	垂直方向（垂直于样品面）
磁场控制	电流控制
磁场大小	最大±25 KOe(±2.5 T)
磁场均匀性	0.5% 10 mm直径；1% 25 mm直径
探针针尖移动	<5 μm 整个磁场范围内
温度范围
±2.5 T	温度10 K
±2 T	温度范围11 K ~ 400 K
±1 T	温度范围401 K ~ 500 K
以上温度范围在最大安装6个探针臂情况下有效
温度稳定性
基础温度 (无加热控制)	未说明
<10 K	±50 mK
10 K ~ 500 K	±10 mK
真空	以TPS-FRG分子泵为标准	PS-HV-CPX高真空选件
抽真空时间	90 min (<1 × 10-3 Torr)	30 min (<1 × 10-3 Torr)
室温下	<5 × 10-4 Torr	<5 × 10-6 Torr
基础温度下	<1 × 10-5 Torr	<5 × 10-7 Torr
最高温度下	<5 × 10-5 Torr	<5 × 10-7 Torr
循环时间
总循环	8.5 h
抽真空	1.5 h
探针台冷却	5 h
探针台升温	2 h
样品
最大尺寸	51 mm(2英寸)
样品背光接口	不可选
样品旋转	不可选
样品振动	＜1 μm
探针配置
最大探针数	6
探针臂温度计	用于监视探针臂的温度
冷却探针支架	＜50 K(样品在基础温度下)
探针支架	连接防辐射屏热沉
探针臂支架	连接防辐射屏热沉
DC/RF探针	电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量
微波探针	频率范围从DC到67GHz
光纤探针	可用于电光测量
落针范围	所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

产品优势

Lake Shore的CRX-VF是一款无液氦闭循环制冷的探针台，它增加了±2.5T的超导磁体，可以进行C-V、I-V、微波和电光探测，以及平面外垂直场超导磁测量。研究人员可以使用CRX-VF进行霍尔效应测量和测试磁输运参数。CRX-VF可在直径达51毫米（2英寸）的晶圆上实现真正的90°晶圆探测。样品可在冷却过程中保持较高温度，降低了样品冷凝的可能性，这是测量有机材料的关键要求。