FIB小知识：FIB-SEM双束电镜的应用领域

2021-05-242299

行业应用：	电子/电气/通讯/半导体半导体
参考标准：	无

文件大小：607.57KB

建议WIFI下载，土豪忽略

方案优势

方案优势

FIB—SEM双束电镜应用领域： 1. 制备TEM样品 2. 截面抛光 3. 微纳米器件的制备及性能测量 4. 三维结构重构 5. 其他三维分析能力：3D EBSD， 3D EDS及SIMS