TESCAN电镜应用之断口3D扫描形貌研究

用户在使用扫描电镜过程中，通常需要对粉末微颗粒样品、晶相样品、医学组织细胞的几何扫描电镜呈像时多采用的是二次电子或者背散射电子，获取的图像都是二维图像，但是在很多时候对于表面不平整的样品我们需要了解它在Z方向上的衬度，例如断口样品的表面轮廓、粗糙度或者某一特征区域的高度等等。在TESCAN 扫描电镜上可以搭载3D测量功能，通过电子束的摇摆或者样品台的摇摆获得同一个位置两张或者三张不同角度的照片，利用三维重构算法实现扫描二维向三维的转换，从而对样品进行三维成像。它对于失效分析类似的工作具有很大的帮助。