访谈 | 等离子FIB技术平替传统镓离子束技术的时代来临！

我工作的ORSAY PHYSICS公司成立于 1989 年，一直致力于离子源和相关光学领域的不断创新，通过不断研发新品保持在领域内的技术先进性。我很幸运，能与公司创始人皮埃尔-苏德罗（Pierre Sudraud）一起工作，他治学严谨而创新开放的精神深深影响了我，让我也遵循着同样的创新之路钻研着聚焦离子束镜筒（FIB）的等离子体技术。

自2011年起，我们便开始了这项技术的研究，ORSAY PHYSICS在与TESCAN合并前率先推出了配备等离子源的双束电镜。这一技术在过去十年中不断演进，而我们持续在创新的道路上前行，致力于提供更优质的产品，不仅仅局限于等离子源技术本身。我相信，我们这次推出的新型FIB-SEM的卓越的性能，将充分证明我们的专业技术实力和研发能力。

当我们突破技术障碍，用FIB-SEM 电子回旋共振（ECR）等离子源技术成功射出第一缕离子束时，就意识到这可能是一个行业变革的开始。我们结合了镓离子束技术上的深厚经验，快速推进了等离子体技术的应用开发。等离子源能够处理的电流比镓源要大得多，而在较高的电流水平下，我们发现等离子体的某些性能甚至超过了镓。顺这一交叉点继续发展，若等离子体技术在更低电流水平上也开始展现出优势，这意味着在未来，等离子体FIB技术完全有可能替代传统的镓离子束技术。

等离子体技术在本世纪初才开始应用于FIB离子源。主要技术挑战在于设计出既紧凑又适合集成的离子源。ORSAY PHYSICS公司凭借其专业技能，成功开发了一种低功耗、紧凑型的ECR离子源，具有长寿命且无需更换易损部件的特点。

我最自豪的时刻之一是向客户展示了我们的第一台 FIB 等离子设备。起初，该离子源又大又笨重，仅能提供一个微安的电流。尽管有这些限制，我们的第一位客户，一家大型半导体公司，还是相信我们能在一年内开发出紧凑可靠的系统。我们成功了，等离子 FIB 项目经理Olivier Salord和我非常自豪地在加拿大安装了该系统，并见证了它的完美运行。

低能量应用正变得越来越重要。当发现等离子 FIB 能达到2 或 3 微安或更高的大电流时我们很惊讶，因为这意味着弥合了与镓离子FIB、激光技术间的差距。但这还不够，未来的发展方向是改进中电流和低电流，而不仅仅是大电流，使等离子 FIB 能够超越传统上使用镓源完成的任务范围。我们的目标是全面涵盖低能量、中电流和高电流要求，从而拥有一个完整的范围。

鉴于离子束适用的应用多种多样，从样品制备到离子注入或二次离子质谱（SIMS）分析，一些关键参数至关重要：可用的离子类型、其能量和离子源特性，以及光学器件性能。我们的目标是开发具有各种离子的更明亮的离子束源，因为不同的离子会以特定的方式与样品相互作用。我们已经在超高真空FIB-SEM NanoSpace和离子植入FIB-SEM QuiiN 平台上积累了这方面的经验。此外，我们还致力于改进光学系统，以减少色差和球差，从而缩小束斑尺寸。开发新离子源和改进光学器件，这些研究方向是我们未来发展的核心。

在 TESCAN 公司的 Jaroslav Klima 和 ORSAY PHYSICS 公司的 Pierre Sudraud 富有远见卓识的领导下，我们团队在科技领域取得了显著的成就，例如首创镓离子双束电镜和等离子双束电镜。与 TESCAN 合并后，ORSAY PHYSICS 得以将其在聚焦离子束镜筒方面的专业技术与 TESCAN 在扫描电镜镜筒方面的专业技术相结合，提供处于创新前沿的顶级分析工具。我们在与科研意见领袖人物和机构的合作方面也享有盛誉，这使我们能够了解未来应用的要求，确保我们的产品始终保持在行业创新的前沿。

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