离子减薄仪

仪器简介：

一、1050型离子减薄仪性能概述

For many of today’s advanced materials, analysis by transmission electron microscopy (TEM) is the best technique for studying material structure and properties. Fischione Model 1050 TEM Mill is an excellent tool for creating the thin, electron transparent specimens needed for TEM imaging and analysis. 整台仪器设计紧凑,触摸屏的设置，可以自动控制减薄过程. 离子源自清洗功能,省略了定期清洗离子源的工作. 离子源电磁聚焦磁场,金属样品微粒不会吸附在离子源处. 大样品台和悬空工作的设计,再加上超大空间样品室,使得样品散热效果明显. 样品采用弹簧卡头固定,避免用粘粘方法造成的样品污染问题，同时，可以在零角度时减薄。. 两个独立的离子源,其电压(0.1~6Kev),电流(3~10mA)可调. 减薄入射角-10o ~ +10o ,样品台旋转0o ~ 360o 制备具有大面积电子穿透区的样品, 采用无油分子泵可保持样品不受污染,抽真空的时间小于4分钟. 样品的观察可借助透射光或反射光. 液氮冷台可将样品冷冻到低于-150 o C(可选件)

技术参数：

• Variable voltage 0.1 to 6.0 kV operation (continuously adjustable)

两个离子源电压100eV~6.0KV连续可调

• Beam current density up to 10 mA/cm²

束流密度最高可达10 mA/cm²，连续可调

• Mil领 angle range of -10^o to +10^o

减薄入射角-10^o ~+ 10^o

• Specimen rock with 1^o increments adjustable from 1^o to 360^o

样品台旋转0^o ~ 360^o

• Turbomolecular Vacuum Pump with an integral molecular drag stage (70lps)

涡轮分子泵

• Oil-free diaphragm backing pump

无油隔膜泵

• Vacuum sensing is accomplished with a Pirani gauge

真空测定用皮拉尼真空计

• Two TrueFocus ion sources direct controlled diameter ion beams

ZG设计的实时聚焦系统，会根据加速电压的不同，自动调整聚焦磁场强度，聚焦离子束。（与永磁铁的固定磁场不同）确保在低电压时，也具有超高的能量密度

• Contamination-free specimen mounting

专用的样品夹技术，可以确保在零角度时的减薄时也没有污染。