Trace 高纯气体分析仪 ta7000

产品介绍：

ta7000 高纯气体分析仪

生产过程中的关键链接

Trace Analytical ™ ta7000, 由AEMTEK Process Instruments生产, 专门设计的采样系统、高灵敏度检测器和分析电子器件。有两个型号---ta7000R和ta7000F，检测器不同，每个型号分析不同组分。

? ta7000R

检测H2, CO

RGD (还原气体检测器)

检测限：低于500ppt

? ta7000F

检测CO2, 甲烷和非甲烷烃

FID (火焰离子化检测器)

检测限：低于500ppt

随着半导体技术的发展，晶圆生产过程越来越复杂要求越来越高。为保护产品质量和产能，需要达到标准的高纯度气体。ta7000分析高纯气体中杂质含量，满足半导体工业的最 新要求。