伯东企业(上海)有限公司
伯东企业(上海)有限公司

美国 HVA 真空闸阀 真空阀门 11000 系列

美国 HVA 标准周期真空闸阀11000 系列
美国 HVA 标准周期真空闸阀11000 系列满足高真空和超高真空应用。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵,离子泵等wan美联用。
HVA 标准周期真空闸阀11000 系列产品特点
HVA 11000 系列真空闸阀有正面锁定的中心装置或一个软封的气动闸(可选择的),阀门保持关闭状态以防空气压力损失。11000 系列真空闸阀独特的气缸设计保证zuidi的冲击和振动,因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。HVA不锈钢真空阀门提供了业界最小的内部接口。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃,1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成,确保了阀门的最大完整性,有效消除了虚漏和缺陷部分,避免阀体变形。
阀门手动、气动三种驱动方式可选,标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀11000 系列可任意位置安装。
HVA 标准周期真空闸阀11000 系列技术参数

阀门材质:

阀门主体

304 不锈钢

焊接波纹管轴封

AM-350

阀门密封方式:

高真空

氟橡胶

超高真空

铜垫圈/氟橡胶

真空:

压力范围

高真空1x10-9 mbar;超高真空 1x10-10 mbar

漏率

< 2x10-9 mbar l/S

差压关闭

1 bar (任意位置)

开启前最大压力

≤ 30 mbar

烘烤温度(不含电磁阀):

佛橡胶密封

150 °c

铜垫圈密封

阀门关闭 200 °c;阀门打开 150 °c

驱动方式

手动 60 °c;气动 60 °c

使用寿命:100,000启闭次数

公称通径:DN16-1000 mm


HVA 标准周期真空闸阀应用案例
上海伯东客户某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统,采用美国 HVA 真空闸阀11000系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和涡轮分子泵 Hipace 80成功分析生长晶体表面结构。
* 鉴于信息保密,更详细的应用案例欢迎致电 021-5046-3511
HVA 真空阀门

HVA标准周期真空闸阀11000 系列产品部件

美国 HVA 真空阀门-美国最大真空阀门制造商。美国 HVA 原装进口真空阀门,超过50年的高真空和超高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀,高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国 HVA 真空阀门在ZG地区**指定总dai理商
上海伯东版权所有,翻拷必究!

HVA 矩形阀 Load-lock 典型应用
HVA 真空闸阀在气体管路系统应用

网站导航