新品发布 | 可对大型重型样品进行纳米级观察的高分辨率场发射扫描电镜
2024-06-19151新品发布
“日立高新技术” 发布高分辨率肖特基场发射扫描电镜“SU3900SE”、“SU3800SE”系列 (以下简称“本系列”) ,该系列可对大型重型样品进行纳米级高精度和高效观察。
高分辨率肖特基场发射扫描电镜
SU3900SE(左) ,SU3800SE(右)
本系列最大可观察样品重量达到 5 kg。此外,通过搭载日立高新技术 SEM*1系列中最大级别的马达台,可以对直径 300 mm、高度 130 mm 的大型样品进行观察,从而减少切割样品等加工工序,实现高效的观察工作。并且,新产品在可以进行大型重型样品观察的同时,还兼具马达台 5 轴(左右、前后、上下、倾斜、旋转) 移动。此外,通过搭载相机导航功能,可以将一系列单独拍摄的图像拼接在一起从而观察样品全貌,支持观察大型样品时的视野搜索*2,有助于提高操作性。
*1SEM (Scanning Electron Microscope)
扫描电子显微镜
*2视野搜索:在测量开始时确定当前测量位置
产品开发背景
SEM作为观察物质表面细微结构的装置,被广泛应用于纳米技术及生物技术等所有工业领域的研究开发、制造以及品质管理。尤其是高分辨率肖特基场发射扫描电镜 (FE-SEM) 可在更高倍率进行观察,在微粒观察、微小异物观察以及元素分析方面的需求不断增加。
观察钢铁等工业材料及汽车相关零件等大型重型样品时,SEM马达台可搭载的样品尺寸和重量都有限制,在观察前需要进行切割等样品处理,从而增加了观察工作的负担。另外近年来,SEM更多的应用在控制微观结构以提高各种材料的功能和性能,以及分析异物和缺陷以改良产品品质。因此,还需要通过进一步提高可操作性来减轻用户的负担,例如提高获取大量数据的效率,以及简化大范围观察时的视野搜索等。
主要特点
(1) 大型重型样品的大范围观察
通过对大型重型样品观察的马达台,日立高新技术的大型SEM实现了对直径300 mm、高130 mm、重量5 kg样品的观察。此外,产品既可搭载大型重型样品又具备5轴移动的功能。
(2) 使用光学相机图像的进行简单的大范围移动
使用光学相机导航系统可覆盖整个马达台的移动范围,轻松确定样品位置。此外,光学相机图像也可以随马达台而旋转,从而轻松移动样品位置,并在 SEM 图像中顺利观察到样品位置。
(3) 获取大量数据时减轻用户负担
配备可选功能“EM Flow Creator”,可视需要组合倍率和马达台位置等条件设置、焦距及对比度等调整功能,创建一系列观察菜单。通过执行创建的菜单,可进行自动观察,有助于减轻用户的操作负担,并在连续图像采集过程中节省人力。
产品规格
新品发布会信息
计划于 2024 年 7 月 28 日 (周日) 至 8 月 1 日 (周四) 在美国 (克利夫兰) 举办的“Microscopy & Microanalysis”展,以及于 9 月 4 日 (周三) 至 9 月 6 日 (周五)在幕张 Messe 国际展览中心 (千叶县) 举办的“JASIS2024”展,对本系列实机进行展示。
今后,日立高新技术将继续完善其“解析、分析”的核心技术,致力于打造解决客户问题的解决方案平台和专用设备,为解决环境问题、强韧、安全和安心等社会问题和客户课题做出贡献。