分子束外延残余气体分析四极质谱仪

仪器简介：HALO 201 MBE 分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的精确分析。

该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成，并能在分子束外延环境中长期使用。

主要特点：钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命

抗污染离子源护罩

双法拉第/ channelplate电子倍增器

技术规格：质量数范围： 1～300 amu

扫描速度： 100amu/s

最小扫描步阶：0.01amu

灵敏度： 0.1 ppm～1ppm

稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5%

最小检测分压：2 x 10^-13 mbar

最大工作压力：1 x 10^-4 mbar

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)