TP-8000型高温氢还原-火焰光度气相色谱仪简介

半导体硅材料中磷含量的高低，直接影响器件的电性能随着硅材料研究及生产的不断提高，对于原材料三氯氢硅中磷的测试灵敏度速度准确度提出更高要求 三氯氢硅中杂质磷的分析，传统的方法为将杂质磷转变成磷钼杂多酸，再还原成磷钼蓝进行比色测定在此基础上后来有改进，诸如经苯肟酮或硫氰化铵比色测定钼，或利用化学光谱法测出钼量进而间接换算出磷含量；加大取样量等虽然在灵敏度上有一定提高，但都要经过使磷形成磷钼杂多酸这一过程为要形成稳定的络合物来分离基本和消除杂质干扰，化学分离手续相当繁杂，分析时间长，而且，测定灵敏度也不能满足生产上的要求