介绍SFT9500的极薄膜Au镀层的测量事例
2012-05-301861
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方案优势
近年来随着科技的进步,产品的小型化・镀层厚
度的超薄膜化也进步了,特别是镀金层厚度也达到
了纳米等级由于膜厚变薄了,荧光X射线的测量
灵敏度不足,测量就变得困难了因此,对于以往
仪器测量困难的纳米等级的膜厚管理,在这里介绍
使用配备有高计数率半导体检测器的SFT9500的
测量事例 日立FT110A X射线镀层测厚仪
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