捷欧路(北京)科贸有限公司
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JSM-IT700HR热场发射扫描电镜


    IT700HR.jpgInTouchScope™ 热场发射扫描电子显微镜 JSM-IT700HR 发布

    —日常使用的SEM、好用—

    日本电子株式会社(代表取締役社長兼COO 大井 泉)宣布:高通量新型扫描电子显微镜JSM-IT700HR于2020年8月开始全球销售。

    【开发背景】

    扫描电子显微镜广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等领域,从基础研究到工厂的品质管理等用途也在不断地扩展。不仅以研究为目的,快速高清晰图像的数据采集和更简便的元素分析的需求很高。 随着技术的不断创新,观察的样品也越来越小,微小样品的测定已经常态化。 基于此,浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。

    该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA(是之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息。 用户界面操作简单,设计紧凑,配备大样品室和更好的防震台,实现了从【能见】-【易见】的转变。 在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能,实时了解在测样品的分析深度(参考),有效用于元素分析中。

    该机种有低真空观察型JSM-IT700HR/LV和低真空观察分析型 JSM-IT700HR/LA两种型号。

    【主要特点】

    1.   浸没式热场发射电子枪,可实现高清晰图像观察和高空间分辨率分析

    2.   Zeromag功能,可实现快速的视野搜索

    3.   Live Analysis功能,实现高效元素分析

    4.   信号深度显示功能,可实时了解样品的分析深度

    5.   SMILE VIEWTM Lab,易于生成从观察到分析的所有数据报告

    6.   样品更换导航使样品更换更安全简便

    7.   电子束自动对中可使电子光学条件维持最 佳状态

    8.   大开门样品室可对应各种形状和大小的样品观察和分析

    日常使用的SEM,好用!

    随着技术的不断创新,观察的样品也越来越小,微小样品的测定已经常态化。 基于此,浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。

    该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA(之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息,用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。

    ■  Zeromag & Autofunctions

          放大光学图像,无缝过渡到SEM图像

    1957_en_01-1.jpg

    Zeromag具有将样品台图像、光学像和SEM像联动的功能,样品台上有多个样品和观察特定区域时,很容易搜寻视野。

    ※若显示光学像,需要选件样品台导航系统SNS


    ■  Integrated EDS & Live Analysis

          一体化EDS和实时分析

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    SEM操作界面上有EDS分析操作,观察分析无障碍。Live Analysis具有实时显示特征X线谱图功能。


    ■  SMILE VIEW™ Lab

          快速生成数据报告

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    JEOL独有的数据管理工具。 光学像、SEM像、EDS分析结果一并保存。报告书一键生成。

    也可以离线解析※1。

    ※1 需要离线分析软件   ※2 需要安装Microsoft®Office


    ■  信号深度显示

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    在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能,实时了解在测样品的分析深度(参考),有效用于元素分析中。


    ■  自动电子束对中 (ABA)

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    电子束的轴偏离时,自动调整对中功能


    ■  用蒙太奇功能进行广域观察与分析

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    1957_en_07-1.jpg

    蒙太奇结果 6x6(左:背散射电子像、右:Cu元素map像 )

    样品:黄铜螺钉的平面刻蚀横截面*、 加速电压:20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像:6.4 mm × 4.8 mm

    *机械研磨后、用IB-19530CP进行平面刻蚀加工


    蒙太奇就是一种拼接功能,能够将广域内采集到的所有图像拼接成一个高清图像。

    此功能对于获取大面积详细信息非常有用。

    700HR参数.jpg





电子枪: 场发射
日常使用的SEM,好用! 该设备ZG分辨率1nm、ZD探针电流300nA(之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息,用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。

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