JSM-IT700HR热场发射扫描电镜

InTouchScope™ 热场发射扫描电子显微镜 JSM-IT700HR 发布

—日常使用的SEM、好用—

日本电子株式会社(代表取締役社長兼COO 大井　泉)宣布：高通量新型扫描电子显微镜JSM-IT700HR于2020年8月开始全球销售。

【开发背景】

扫描电子显微镜广泛应用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等领域，从基础研究到工厂的品质管理等用途也在不断地扩展。不仅以研究为目的，快速高清晰图像的数据采集和更简便的元素分析的需求很高。 随着技术的不断创新，观察的样品也越来越小，微小样品的测定已经常态化。 基于此，浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。

该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA（是之前的15倍），可提供丰富的观测和分析信息。 用户界面操作简单，设计紧凑，配备大样品室和更好的防震台，实现了从【能见】-【易见】的转变。 在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能，实时了解在测样品的分析深度（参考），有效用于元素分析中。

该机种有低真空观察型JSM-IT700HR/LV和低真空观察分析型 JSM-IT700HR/LA两种型号。

【主要特点】

1.   浸没式热场发射电子枪，可实现高清晰图像观察和高空间分辨率分析

2.   Zeromag功能，可实现快速的视野搜索

3.   Live Analysis功能，实现高效元素分析

4.   信号深度显示功能，可实时了解样品的分析深度

5.   SMILE VIEWTM Lab，易于生成从观察到分析的所有数据报告

6.   样品更换导航使样品更换更安全简便

7.   电子束自动对中可使电子光学条件维持最 佳状态

8.   大开门样品室可对应各种形状和大小的样品观察和分析

日常使用的SEM，好用！

随着技术的不断创新，观察的样品也越来越小，微小样品的测定已经常态化。 基于此，浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。

该设备最高分辨率1nm、最大探针电流300nA（之前的15倍），可提供丰富的观测和分析信息，用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。

■  Zeromag & Autofunctions

      放大光学图像，无缝过渡到SEM图像

Zeromag具有将样品台图像、光学像和SEM像联动的功能，样品台上有多个样品和观察特定区域时，很容易搜寻视野。

※若显示光学像，需要选件样品台导航系统SNS

■  Integrated EDS & Live Analysis

      一体化EDS和实时分析

SEM操作界面上有EDS分析操作，观察分析无障碍。Live Analysis具有实时显示特征X线谱图功能。

■  SMILE VIEW™ Lab

      快速生成数据报告

JEOL独有的数据管理工具。 光学像、SEM像、EDS分析结果一并保存。报告书一键生成。

也可以离线解析※1。

※1　需要离线分析软件   ※2　需要安装Microsoft®Office

■  信号深度显示

在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能，实时了解在测样品的分析深度（参考），有效用于元素分析中。

■  自动电子束对中 (ABA)

电子束的轴偏离时，自动调整对中功能

■  用蒙太奇功能进行广域观察与分析

蒙太奇结果 6x6（左：背散射电子像、右：Cu元素map像 ）

样品：黄铜螺钉的平面刻蚀横截面*、 加速电压：20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像：6.4 mm × 4.8 mm

*机械研磨后、用IB-19530CP进行平面刻蚀加工

蒙太奇就是一种拼接功能，能够将广域内采集到的所有图像拼接成一个高清图像。

此功能对于获取大面积详细信息非常有用。