光电子能谱仪

JPS-9030 光电子能谱仪

JPS-9030配有静电透镜和分析器等JEOL多年的成功技术，具有高灵敏度和高分辨率，设计紧凑。特别是低加速电压和大束流离子枪使这款光电子能谱仪可以对不同厚度的薄膜进行样品表面原子层到微米级厚度样品层分析。样品室和刻蚀室真空是完全独立的，杜绝了污染，更好的保护超真空系统。