产品介绍:
★ 冷却的效果 样品:镀锌钢板
可提供500μm/h(8KV/2小时的平均值)的研磨速率。
Specimen: Galvanized iron steel
Normal mil领 (without coo领)
Accelerating voltage 4kV
Cooled mil领 (holder temperature -120℃)
Accelerating voltage 4kV
※ 通常加工(无冷却)时,铁和锌的接合面上能够观察到间隙,而冷却加工时则没有间隙
★ 使用温度控制系统(选配件)冷却 样品:硅晶片接合面
Normal mil领 Coo领 Coo领
temperature control
(without coo领) (holder temperature -150℃) (holder temperature -20℃)
Accelerating voltage 6kV Accelerating voltage 6kV Accelerating voltage 6kV
※ 常规加工由于热损伤造成粘合剂变形,出现了很大的间隙。 -150 ℃时,冷却过度,能观察到胶粘剂和硅晶片研磨面的接合面上出现了间隙,但通过温度控制冷却则没有间隙。
★ 合理利用间歇加工、冷却功能和温度控制冷却功能可支持各种样品的制备
★ 进程监控功能
截面加工状态可通过CCD相机实时监控,倍率还可调整。
★ 防止充放电的喷镀功能
备有离子束溅射功能(选配项)
可以喷涂颗粒感良好的薄涂层。
最适合于象EBSD等需要花样识别等情况。
★ 平面离子减薄样品架
以小角度的离子束低角度照射样品,达到清除表面污垢、平滑表面等效果。
另外也非常适合于选择性蚀刻。
★ 截面样品制备单元
安装在平面离子减薄样品架上使用。该单元可用于在旋转样品的同时进行离子束加工。
可以用来制备象多孔质材料、粉末、纤维等容易出现加工条纹的样品的截面