展位号:T0308, JEOL 参展SEMICON China 2024

2024-03-2044

展位信息

SEMICON China已成为中国S要的半导体行业盛事之一。2024年SEMICON将于3月20日-3月22日在上海新国际博览中心举行，JEOL展位号:T0308。

在本次展会上,JEOL将以Poster和视频展示纳米分析及半导体制造的相关产品。

JIB-PS500i 聚焦离子束双束显微镜

特点:

1)低电压下出色的成像能力(1nm@1kV)

2)100nA束流,快速制备TEM薄片

3)130mmXY行程及-40~93°双向倾转

4)Check&Go^TM,无需切换硬件即可在STEM和SEM模式切换

5)TEM-Linkage^TM,加工后直接转入JEOL透射电镜,不会有样品掉落风险

JEM-F200 场发射透射电镜

特点:

1)高分辨率冷场电子枪可选,配有Flash&Go^TM快速Flash功能

2)Specporter^TM自动进样设

3)Pico-stage^TM高精度样品台

4)Dual EDS 超高计数率双能谱配置

5)1900万高像素一体化Sightsky^TM相机

6)GIF/CEFID 能量损失谱可选

JBX-8100FS 电子束曝光系统

特点:

1)可选200kV加速电压(G3版)

2)可选配光学显微镜,避免观察时电子束带来的样品损伤

3)样品定位精度可达0.15nm

4)样品尺寸:6英寸(可选12个样品连续进样)

5)扫描速度:125MHz

JSM-IT800 场发射扫描电镜

特点:

1)光电过渡Zeromag^TM

2)UID/UED/SED探测器:捕捉高分辨二次电子/电位衬度图像

3)Z大样品尺寸:200mm(D)

4)Airlock&DrawOut两种换样方式可选

5)500nA分析束流可选

6)Gather-X^TM无窗型一体化能谱可选，轻松识别常见的重叠峰

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