JEOL FE-SEM 的**光阑角控制镜

       JEOL FE-SEM采用了**光阑角控制镜（ACL），这样，即使照射样品的探针电流很大，与从前相比， 也能获得很小的电子束斑。

大探针电流时，用ACL 能获得很小的电子束斑。

探针电流大的时候，束斑直径也变大。

       样品: 金属材料 (Cu、Ag、Sn、Pb) 

       倍率：×15,000 

       加速电压: 5 kV 

       探针电流 50 nA

Z小化的分析体积使用较低的加速电压， 较大的探针电流Z小化的面分布速度可以减少对样品的损伤

高空间分辨率的微区元素面分布及快速测试